В оборудовании для обработки пластин линейные направляющие используются для точного позиционирования и передачи полупроводниковых пластин на различных этапах производственного процесса. Точность, требуемая в этом оборудовании, высокая, допуска часто находятся в субмикронном диапазоне.
Системы инспекции пластин также используют линейные направляющие для обеспечения точного и плавного перемещения инспекционных инструментов, что позволяет проводить высокоточные измерения и выявлять дефекты поверхности пластины.
Фотолитографическое оборудование, используемое в процессе производства полупроводников для нанесения узоров поверхности пластин, также требует высокоточных линейных направляющих для точного позиционирования пластины и экспозиции узора.
В полупроводниковой промышленности линейные направляющие используются за отличную точность, высокую жесткость и низкое трение. Эти свойства позволяют оборудованию работать с высокой точностью и повторяемостью, что приводит к высококачественным производственным результатам. С ростом спроса на миниатюризацию и высокую производительность электронных устройств, ожидается, что потребность в линейных направляющих в полупроводниковой промышленности будет продолжать расти.
+8615622924499
+8615622924499
