В оборудовании для транспортировки полупроводниковых пластин линейные направляющие используются для точного позиционирования и переноса полупроводниковых пластин через различные этапы производственного процесса. Точность, требуемая в этом оборудовании, высока, с допусками часто в субмикронном диапазоне.
В системах контроля пластин также используются линейные направляющие для обеспечения точного и плавного перемещения инструментов контроля, что позволяет проводить высокоточные измерения и обнаруживать дефекты на поверхности пластины.
Оборудование для фотолитографии, которое используется в процессе производства полупроводников для моделирования поверхности пластин, также требует высокоточных линейных направляющих для обеспечения точного позиционирования пластины и экспонирования рисунка.
В полупроводниковой промышленности линейные направляющие используются благодаря своей превосходной точности, высокой жесткости и низкому трению. Эти свойства позволяют оборудованию работать с высокой точностью и повторяемостью, что приводит к высококачественным производственным результатам. Ожидается, что с ростом спроса на миниатюризацию и высокую производительность электронных устройств потребность в линейных направляющих в полупроводниковой промышленности будет продолжать расти.
+8615622924499
+8615622924499
